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用磁质谱检漏仪对热镀锌板退火炉在线检漏.根据热镀锌板退火炉对密封性的指标要求,针对不同区域确定不同的检漏方案,分别采用正压检氢和负压检氦的办法对炉体不同区域进行检漏。
热镀锌板退火炉在线检漏技术
【摘 要】
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用磁质谱检漏仪对热镀锌板退火炉在线检漏.根据热镀锌板退火炉对密封性的指标要求,针对不同区域确定不同的检漏方案,分别采用正压检氢和负压检氦的办法对炉体不同区域进行检
【机 构】
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北京真空电子技术总公司,北京,100016
【出 处】
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第九届真空技术应用学术年会
【发表日期】
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2006年期
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