CCLID特性的测量与分析

来源 :全国固体摄像器件学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjbdamo
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对1413所研制的三相单列256位Si-CCLID(电荷耦合线阵成象器件)特性,包括响应率、响应率的线性、迁移率、迁移率的均匀性、迁移率与时零的关系、迁移率与信号电荷大小的关系进行了测量,并对测量的结果进行了理论分析。测量结果说明该器件响应率的线性和迁移率的均匀性较好,只是暗电流很大,可能是由于表面复合产生。指出为了CCD应用的发展,需改进表面工艺,并发展埋沟器件。(本刊录)
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