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【摘 要】
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Nanocrystalline and Polycrystalline silicon thin films prepared on glass substrate at low temperature are of scientific interest because of their applicatio
【机 构】
：
Institute of Photo-Electronics,Nankai University,Tianjin Key Laboratory for Photo-Electronic Thin Fi
【出 处】
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The 7th Sino-US Conference of Chemical Engineering(第7届中美化学工程
【发表日期】
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2013年期
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