【摘 要】
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采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效应.在敏感芯片硅微结构设计中,弹性梁的MEMS
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天学院;中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001哈尔滨工业大学航天学院中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效应.在敏感芯片硅微结构设计中,弹性梁的MEMS结构为凹形截面,与矩形截面相比较有更为突出的数学应力集中区域,能够达到惯性结构几何参量的固有频率和灵敏度等传感器特征因子的最佳相互影响关系,通过ANSYS建模与仿真分析,进一步验证敏感芯片弹性梁的MEMS结构应变性能.
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